研究開発設備と体制
黒坂鍍金工業所では、
お客様の要望に応じて
調査分析、研究、開発を行っています。
黒坂鍍金工業所では、表面処理後の膜品質(膜厚・均一性・構造)や、めっき成分・不純物・異物を含む表面成分分析を行っています。さらに、硬度・粗さなどの物理特性、めっき液中成分の濃度管理・処理条件の最適化に関する工程管理・研究開発までを総合的に実施し、安定した品質向上を追求しています。
FE-SEM :
HITACHI製SU3900SE/EDX
走査電子顕微鏡は物質表面の微細構造を観察する装置として、研究・開発から品質管理目的で使用しています。
Oxford Instruments製EDX(Energy Dispersive X-ray Spectrometry)を搭載しており異物等の元素分析も可能で不良原因の特定に用いています。
Oxford Instruments製EDX(Energy Dispersive X-ray Spectrometry)を搭載しており異物等の元素分析も可能で不良原因の特定に用いています。
| FE-SEMの強み | 10万倍まで観察可能 |
| 試料室のサイズが12インチまで対応可能
※標準的なシリコンウエハが12インチなので、切断せずに観察可能 |
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| 汎用SEMと比較し、高分解能・高倍率 |
デジタルマイクロスコープ :
OLYMPUS社製DSX1000
広い倍率をカバーし、多彩な観察法や画像処理を備えたデジタルマイクロスコープです。
| 倍率 | 140× ~ 5600× |
| 観察法 | 明視野・偏射・暗視野・明暗視野同時・簡易偏光・微分干渉 |
| 画像解析 | 平面計測・プロファイル計測・段差計測・体積計測・粗さ測定 |
微小硬度計 :
株式会社フューチュアテック社製FM-310
4角錐圧子を試料に押し付け、圧痕の寸法から硬さや弾性率、塑性変形量等を計算します。
偏光ゼーマン原子吸光光度計 :
HITACHI製ZA3000
金属元素の濃度を測定する(定量分析)装置です。
弊社では主にめっき液中のNi,Cuの濃度確認に使用しています。
弊社では主にめっき液中のNi,Cuの濃度確認に使用しています。
試料切断機 :
株式会社フューチュアテック社製 FTC-255ASL
微小硬度測定、SEM-EDX解析等のサンプル作製の為に金属部品の切断に使用します。
自動試料研磨機 :
株式会社フューチュアテック社製FTP-2AX200
微小硬度測定、SEM-EDX解析等のサンプル作製の為に樹脂封埋した金属部品の観察面研磨に使用します。
研磨は、切断時のバリや、樹脂で埋め込んだ際の凹凸があると、高倍率で試料を観察した際にレンズの焦点が合いづらく、正確な観察が行えないため、本設備を用いて試料を平滑にします。
研磨は、切断時のバリや、樹脂で埋め込んだ際の凹凸があると、高倍率で試料を観察した際にレンズの焦点が合いづらく、正確な観察が行えないため、本設備を用いて試料を平滑にします。
卓上 SEM スパッタコーター :
クレジントン社製 108
非導電性の SEM サンプルに導電性を持たせる為に貴金属の薄いコーティングを行うのに使用します。
分析解析機器を利用した調査、研究は
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